風(fēng)淋室應(yīng)用微電子實驗室,風(fēng)淋室應(yīng)用與復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院實驗室

    在微電子學(xué)院領(lǐng)導(dǎo)的支持下，微電子學(xué)院的周鵬副教授、工藝實驗室的徐賽生工程師作了充分的前期準備，特地為同學(xué)們準備了防護服和手套口罩等裝備。2013級班導(dǎo)師的陳赟老師和騰飛計科5班的輔導(dǎo)員曹佩奇全程帶領(lǐng)參觀。

24日下午一點半，同學(xué)們來到位于復(fù)旦大學(xué)邯鄲校區(qū)本部的微電子樓，在陳赟老師的帶領(lǐng)下，進入微電子實驗室的參觀。進入實驗室前，本科一年級的同學(xué)第一次戴上帽子和口罩，穿上防護服，戴上手套，套上鞋套，穿過風(fēng)淋室，進入了千級的實驗室參觀，還在環(huán)境掃描電子顯微鏡下看到了碳納米管的樣子。第一次穿上防塵服的同學(xué)們感到非常的新奇有趣，立刻激發(fā)起對于微電子學(xué)科的好奇心，大家表現(xiàn)出了高漲的熱情，迫不及待要親自操作實驗儀器。

隨后，同學(xué)們分兩批進入實驗室，實驗室的負責老師為大家介紹了實驗室的基本情況，實驗室擁有主體千級、部分區(qū)域百級、總潔凈面積達到約800平米的潔凈室，放置了先進的集束系統(tǒng)（集成了PVD/ALD/RTP/XPS等）、銅互連先進擴散阻擋層淀積和分析系統(tǒng)、納米管和石墨烯淀積設(shè)備、反應(yīng)離子刻蝕、微波退火系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備，成為了02國家重大專項“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺建設(shè)”項目中“互連子平臺”建設(shè)的重要組成部分。同時潔凈室還放置了高端電子束曝光設(shè)備JEOL 6300 FS和ICP刻蝕等關(guān)鍵設(shè)備。近年來實驗室負責承擔和完成了包括國家“02重大專項”、“863”計劃及國家自然科學(xué)基金等項目在內(nèi)的各類項目共計近50項。目前為止，實驗室已出版中英文專著6部，并在國際頂級專業(yè)期刊上發(fā)表論文近300余篇，申請專利150多項。此外，實驗室積極開展國內(nèi)外學(xué)術(shù)交流與合作，并與國內(nèi)多家集成電路制造公司的領(lǐng)頭企業(yè)，如中芯國際、華虹NEC等，建立了長期深入的合作關(guān)系。實驗室非常歡迎優(yōu)秀的本科生進入實驗室先期了解科學(xué)研究的最新動態(tài)。

同學(xué)們也第一次近距離地接觸實驗儀器設(shè)備，直觀地了解實驗過程。當時正有研究生進行實驗，同學(xué)們有幸直接觀看電子束曝光的現(xiàn)場。老師們還非常熱心地指著實驗室的通氣管道考考大家對半導(dǎo)體工藝認識多少，同學(xué)們也積極向老師提問。參觀結(jié)束后，陳赟老師還為大家準備了精美的集成電路介紹短片，讓大家對于集成電路工藝和設(shè)計以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)有了更加全面和深入的了解。

15點45分，我們的參觀活動告一段落，同學(xué)們在活動中都表現(xiàn)出了極大的熱情和濃厚的興趣，也增強了學(xué)生們對微電子學(xué)科的興趣，為大家提供了走進實驗室感受科研氛圍的機會，也為同學(xué)們?nèi)蘸蟠_定個人的發(fā)展方向提供了信息和導(dǎo)向。

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