風(fēng)淋室應(yīng)用微電子實(shí)驗(yàn)室,風(fēng)淋室應(yīng)用與復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院實(shí)驗(yàn)室

    在微電子學(xué)院領(lǐng)導(dǎo)的支持下，微電子學(xué)院的周鵬副教授、工藝實(shí)驗(yàn)室的徐賽生工程師作了充分的前期準(zhǔn)備，特地為同學(xué)們準(zhǔn)備了防護(hù)服和手套口罩等裝備。2013級(jí)班導(dǎo)師的陳赟老師和騰飛計(jì)科5班的輔導(dǎo)員曹佩奇全程帶領(lǐng)參觀。

24日下午一點(diǎn)半，同學(xué)們來(lái)到位于復(fù)旦大學(xué)邯鄲校區(qū)本部的微電子樓，在陳赟老師的帶領(lǐng)下，進(jìn)入微電子實(shí)驗(yàn)室的參觀。進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室前，本科一年級(jí)的同學(xué)第一次戴上帽子和口罩，穿上防護(hù)服，戴上手套，套上鞋套，穿過(guò)風(fēng)淋室，進(jìn)入了千級(jí)的實(shí)驗(yàn)室參觀，還在環(huán)境掃描電子顯微鏡下看到了碳納米管的樣子。第一次穿上防塵服的同學(xué)們感到非常的新奇有趣，立刻激發(fā)起對(duì)于微電子學(xué)科的好奇心，大家表現(xiàn)出了高漲的熱情，迫不及待要親自操作實(shí)驗(yàn)儀器。

隨后，同學(xué)們分兩批進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)室的負(fù)責(zé)老師為大家介紹了實(shí)驗(yàn)室的基本情況，實(shí)驗(yàn)室擁有主體千級(jí)、部分區(qū)域百級(jí)、總潔凈面積達(dá)到約800平米的潔凈室，放置了先進(jìn)的集束系統(tǒng)（集成了PVD/ALD/RTP/XPS等）、銅互連先進(jìn)擴(kuò)散阻擋層淀積和分析系統(tǒng)、納米管和石墨烯淀積設(shè)備、反應(yīng)離子刻蝕、微波退火系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備，成為了02國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺(tái)建設(shè)”項(xiàng)目中“互連子平臺(tái)”建設(shè)的重要組成部分。同時(shí)潔凈室還放置了高端電子束曝光設(shè)備JEOL 6300 FS和ICP刻蝕等關(guān)鍵設(shè)備。近年來(lái)實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)承擔(dān)和完成了包括國(guó)家“02重大專(zhuān)項(xiàng)”、“863”計(jì)劃及國(guó)家自然科學(xué)基金等項(xiàng)目在內(nèi)的各類(lèi)項(xiàng)目共計(jì)近50項(xiàng)。目前為止，實(shí)驗(yàn)室已出版中英文專(zhuān)著6部，并在國(guó)際頂級(jí)專(zhuān)業(yè)期刊上發(fā)表論文近300余篇，申請(qǐng)專(zhuān)利150多項(xiàng)。此外，實(shí)驗(yàn)室積極開(kāi)展國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)交流與合作，并與國(guó)內(nèi)多家集成電路制造公司的領(lǐng)頭企業(yè)，如中芯國(guó)際、華虹NEC等，建立了長(zhǎng)期深入的合作關(guān)系。實(shí)驗(yàn)室非常歡迎優(yōu)秀的本科生進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室先期了解科學(xué)研究的最新動(dòng)態(tài)。

同學(xué)們也第一次近距離地接觸實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備，直觀地了解實(shí)驗(yàn)過(guò)程。當(dāng)時(shí)正有研究生進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，同學(xué)們有幸直接觀看電子束曝光的現(xiàn)場(chǎng)。老師們還非常熱心地指著實(shí)驗(yàn)室的通氣管道考考大家對(duì)半導(dǎo)體工藝認(rèn)識(shí)多少，同學(xué)們也積極向老師提問(wèn)。參觀結(jié)束后，陳赟老師還為大家準(zhǔn)備了精美的集成電路介紹短片，讓大家對(duì)于集成電路工藝和設(shè)計(jì)以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)有了更加全面和深入的了解。

15點(diǎn)45分，我們的參觀活動(dòng)告一段落，同學(xué)們?cè)诨顒?dòng)中都表現(xiàn)出了極大的熱情和濃厚的興趣，也增強(qiáng)了學(xué)生們對(duì)微電子學(xué)科的興趣，為大家提供了走進(jìn)實(shí)驗(yàn)室感受科研氛圍的機(jī)會(huì)，也為同學(xué)們?nèi)蘸蟠_定個(gè)人的發(fā)展方向提供了信息和導(dǎo)向。

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