穿上凈化服、戴上口罩、經(jīng)過強風(fēng)的“風(fēng)淋室”后，記者走進了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點實驗室。展現(xiàn)在眼前的是一個擺滿了高科技儀器設(shè)備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機器之間穿梭忙碌。
這里是我國最先進的高端硅基集成電路晶圓片材料ＳＯＩ研發(fā)平臺，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦院士為之奮斗十多年的地方。
這些看上去光潤無瑕、如同一面面灰色圓鏡的ＳＯＩ材料，專業(yè)名稱叫“絕緣體上的硅”，是國際公認的２１世紀新一代硅基材料，在低壓、低高溫電路、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面都有重要應(yīng)用。
早在２０世紀８０年代初，中科院就已經(jīng)開始ＳＯＩ技術(shù)研究，但僅僅停留在論文上，從沒有走出實驗室。眼看國際上ＳＯＩ產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用技術(shù)突飛猛進，１９９８年，王曦放棄國外優(yōu)越生活，毅然回國挑起了中科院ＳＯＩ項目的“大梁”。
“現(xiàn)在回想起來，當(dāng)時選擇回國，是我人生中最為重要的一個正確決定。作為一名科研人員，只有回到祖國的懷抱，才能腳踏實地去探索，才能實現(xiàn)自己的志向，才會大有作為。”王曦說。
為了盡快趕上國際先進水平，王曦帶領(lǐng)科研團隊通宵達旦地在實驗室里加班加點，他們采用工程化管理，每個階段都設(shè)定了指標(biāo)。“離子注入”是王曦鉆研多年的ＳＯＩ材料制備中的關(guān)鍵技術(shù)?；貒螅蹶爻晒Φ乩脛?chuàng)新技術(shù)完成了ＳＯＩ材料技術(shù)工程化研究，建立了生產(chǎn)線。
剛開始，生產(chǎn)線上做出來的ＳＯＩ硅片瑕疵斑點很多，如同一片片“麻餅”。經(jīng)過漫長的艱苦跋涉、晝夜奮戰(zhàn)，他帶領(lǐng)團隊終于生產(chǎn)出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的“三明治”圓片。
“王老師工作極其認真細致、精益求精，大至行業(yè)發(fā)展趨勢、課題研究方向，小到學(xué)生們每一篇論文的標(biāo)點符號，他都事無巨細親自把關(guān)。因此，他每天的時間總是排得滿滿的，我們經(jīng)常在半夜里收到他的電子郵件。”王曦的學(xué)術(shù)秘書俞文杰說。
創(chuàng)建公司、將ＳＯＩ材料產(chǎn)業(yè)化是王曦人生中第二個重要選擇。２００１年，在國家有關(guān)部委和中科院領(lǐng)導(dǎo)的支持下，王曦帶領(lǐng)ＳＯＩ項目組骨干創(chuàng)建了上海新傲科技有限公司，從“科學(xué)家”轉(zhuǎn)型為“企業(yè)家”。
２００２年，中國第一批商業(yè)化生產(chǎn)的ＳＯＩ圓片問世，這讓美國硅谷驚呆了。當(dāng)?shù)亍栋雽?dǎo)體商業(yè)新聞》曾驚呼：就像在一夜之間，中國“突然冒出了一個現(xiàn)代化的高端集成電路硅基片企業(yè)”。
２００６年，王曦負責(zé)的“高端硅基ＳＯＩ材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目榮獲國家科技進步獎一等獎，在關(guān)鍵技術(shù)上取得一系列重大創(chuàng)新，申請國家發(fā)明專利３２項，并已獲授權(quán)１６項。
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